住重は「クライオポンプ」を出展半導体需要を狙え、真空機器メーカーがアピールする最新技術【関連記事】【写真】半導体需要を狙う荏原のドライ真空ポンプ「EV―X型」【一覧表】半導体装置メーカー10社の決算詳細【図解】知っておいて損はない、半導体の基礎知識「半導体洗浄装置」世界シェア首位のSCREEN HD、新棟相次ぐ主力工場の全容世界で2社しか作れない!高耐熱「チラノ繊維」の正体前工程の半導体製造装置トップシェア、東京エレクトロンが後工程で定める照準