静岡事業所に半導体パターニング材料を研究開発する施設を新設
ドイツの化学品メーカーであるMerck(以下、メルク)は2024年12月20日、静岡事業所(静岡県掛川市)に先端材料開発センター(Advanced Materials Development Center:AMDC)を建設するため、7000万ユーロ超(約100億円)を投資することを発表した。 この投資により、半導体製造の重要な工程であるパターニングプロセス向けの材料開発力を強化し、半導体技術の発展と世界のエレクトロニクス産業の成長支援に向けた取り組みを加速する。
AMDCの特徴
2026年に運営を開始するAMDCは、メルクのパターニング材料の研究開発機能を強化する施設で、厳しい環境基準を満たす半導体ノードなどを開発できる見込みだ。延べ床面積が5500m2の施設内に最先端のクリーンルームと高度な研究設備を完備する他、半導体業界のニーズに柔軟かつ迅速に対応すべく、将来の拡張性を考慮して設計する。 同施設では、EUV(極端紫外線)材料やDSA(誘導自己組織化)といった最先端ソリューションの開発にも注力する。AI(人工知能)半導体や先端ノードを含む次世代アプリケーションの需要に応えながら環境負荷の低減も目指す。 メルクは、2021年から日本国内の半導体材料拠点の強化を継続的に実施しており、総額1億2000万ユーロを超える規模の投資を行っている。
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