キヤノンEUVより低コストで微細化…キヤノンが半導体装置巻き返し、ナノインプリントで再参入の勝算【関連記事】【写真】キヤノンが出荷するTIE向けNIL装置30秒でわかる「ナノインプリントリソグラフィ(NIL)装置」30秒でわかる「EUV露光装置」光量子コンピューターが半導体の微細化競争に終止符を打つ【一覧表】半導体装置メーカー7社の業績詳細世界シェア首位の半導体装置向け部品専用工場、SCREENが新設