次世代半導体の国産化を目指し、北海道千歳市に工場を建設中のラピダス（東京）は18日、極端紫外線（EUV）露光装置を初めて搬入し、設置作業を開始したと発表した。 同装置は半導体回路の微細化に不可欠で、来年4月の試作ライン稼働に向けた準備は最終段階に入った。 装置は長さ10．3メートル、幅3．2メートル、高さ3．4メートルで、重さは71トン。搬入する個数は非公表とした。年内に搬入作業を終える予定。 記念式典でラピダスの小池淳義社長は、搬入により「試作ラインもスタートでき、大きな第一歩」と話した。また、建屋も約88％完成しており、進捗（しんちょく）状況は順調だと強調した。
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