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ラピダス工場に極端紫外線（ＥＵＶ）露光装置が搬入されたことを記念する式典で撮影に応じるラピダスの小池淳義社長（左から３人目）ら＝１８日午後、北海道千歳市

ラピダス、露光装置を初搬入　小池社長ら出席　北海道

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