ラピダスに最大追加支援5900億円 パイロットライン稼働に前進
ラピダスは2日、都内で会見を開き、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)から受託していた半導体前工程関連プロジェクトの2024年度計画・予算が承認されたことを発表した。予算承認により、同社は25年4月のパイロットラインの稼働に向けてクリーンルームの稼働開始、EUV(極端紫外線)露光機などの製造装置の導入を進めていく。支援額は最大5365億円。 加えて「2ナノメートル世代半導体のチップレットパッケージ設計・製造技術開発」(後工程)も新たに採択された。先端的なパッケージにおける実装量産技術の開発やチップレットのテスト技術の確立などを進める。支援額は同535億円。24年度の最大支援額は計5900億円となる。 会見で小池淳義社長は「追加支援は非常に大きな意義がある。パイロットラインの実現に向けて細かな課題は多くあるが、2ナノメートル量産を実現できると確信している」と述べた。
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