ラピダスが採用…朝日工業社、「半導体向け温湿調機」上位モデルの機能
朝日工業社は精密空調機「ASCシリーズ」に半導体の製造工程向けに温度・湿度を精密に制御できる上位モデル「高性能温湿調機＝写真」を追加した。温度制御の精度を従来のプラスマイナス0・5度Cから同0・05度Cにまで高めた。湿度の制御も加え、同0・5％RH（相対湿度）の精度で制御が可能。ラピダス（東京都千代田区）から受注し、同社が北海道千歳市内に建設している半導体工場の露光工程などに納入した。 受注生産品で、寸法や価格は個別対応。半導体やフラットパネルディスプレー（FPD）工場、精密制御が必要な産業施設、研究施設に提案し、今後3年間で10―20台の販売を目指す。 ラピダスは半導体製造工程用の環境装置として高性能温湿調機を採用した。半導体製造の前工程である露光装置周辺の密閉空間に温湿度を制御したエアーを供給する。従来に比べてきめ細かな温湿度制御により露光工程の空気清浄度を高めつつ、安定的な製造につなげる。
