使用した水を回収　平均3.5回繰り返し使用

使用した水を回収し36種類に分類

　作り出された超純水は、クリーンルームへ。ウエハーの洗浄に使われた水は、化学物質などを含んだ廃水となりますが、驚くのはここから。その種類や濃度によって、36種類に分けて回収されます。 　山本さんは「回収水という形で適切に処理することで、きれいな水に生まれ変わることができる」と胸を張ります。処理した水は、平均3.5回繰り返し使用することができるそうです。

くまもとLive touchより

　1㎠のウエハーの洗浄に使う水は、世界の半導体企業の平均が12リットル程度ですが、TSMCの場合は5リットル程度。熊本工場にもノウハウや技術を導入し、水の消費量の節約につなげているとしています。 　水の回収率は75％程度。続いては、残る25％の排水が、どう処理されるのかを探ります。 （KAB「くまもとLive touch」12月11・12日放送）