1台で多様に薄膜検査…堀場エステックが投入、半導体製造向け装置の機能
堀場製作所子会社の堀場エステック（京都市南区、堀場弾社長）は、ウエハーの膜厚測定や欠陥分析、組成分析など半導体製造で重要な検査を1台で対応できる全自動薄膜検査装置を発売した。分光分析技術を応用したセンサーを、目的に応じて単一もしくは複数組み合わせて搭載でき、多様な検査項目に対応する。消費税抜きの価格は1億円から。3年間で20台の販売を目指す。 全自動薄膜検査装置「Xtrology（エクストロロジー）」は検査対象の厚さや性質を求める分光エリプソメトリー、分子構造や性質を評価するラマン分光、欠陥や不純物の情報を得るフォトルミネッセンスの3種類の分析手法に対応したセンサーを搭載可能。ニーズに応じてカスタマイズし、1台で広範囲な検査項目に対応する。 ウエハー上に形成する薄膜の欠陥は、半導体の品質や性能に直結する。次世代パワー半導体素材として普及が進む化合物半導体も、成膜時の欠陥による歩留まり悪化が課題だ。新型機はレガシーから先端半導体まで多様なウエハー検査に対応している。
