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日立ハイテクは最先端半導体をインライン計測できる装置を開発する（最先端半導体を生産するラピダスの工場イメージ〈ラピダスのプロジェクト紹介資料から、鹿島協力〉）

3D半導体に対応…日立ハイテク、新検査装置の開発着手

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