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EUV露光装置について説明するラピダスの小池淳義社長。スクリーンに映っているのはEUVの内部=千歳市の新千歳空港で2024年12月18日午後1時14分、片野裕之撮影毎日新聞

ラピダス、EUV露光装置を導入へ 半導体量産化では国内初 北海道

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