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- 検査速度が約2倍に向上 東レエンジMI、車載用半導体向けウエハー検査装置を発表東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー(東レエンジMI、TASMIT)は5日、半導体ウエハー外観検査装置「インスペクトラ」シリーズの新製品…電波新聞デジタルIT総合