波長が短いほど微細化できる半面、物質に光が吸収されやすくなるなど技術的難易度は上がる(電波新聞社)先端半導体、回路微細化の決め手「EUV」 東京応化や信越化学などが材料投資を加速【関連記事】【関連写真】三井化学が増産に乗り出したフォトマスク用防塵カバー「EUVペリクル」半導体の回路原版、露光時に防塵 次世代品の生産設備導入へ 年産5千枚 三井化学半導体材料の新工場完成 投資額130億円 九州地区の需要増に対応 東京応化半導体後工程で新工法 専用装置開発 「中間基板」不要、コスト低減へ 信越化学グループ初の技術開発センター 24日に開設 半導体事業を加速、太陽HD半導体材料で新工場建設相次ぐ 生成AIが需要押し上げ、信越化学やレゾナックなど