1/4今回の実験で用いた高品質な窒化アルミニウムの単結晶基板。直径約2インチ(50ミリメートル)で、厚さは0.5ミリメートル(旭化成提供)窒化アルミニウム系の次世代パワー半導体デバイスの作製に成功 名大と旭化成