2nm世代以降のEUVリソグラフィ向けフォトマスク[クリックで拡大] 出所:DNP(写真:MONOist)EUVリソグラフィ向けフォトマスク上に2nm世代以降の微細なパターンの解像に成功【関連記事】EUVリソグラフィ用フォトマスク上の線幅17nmのライン&スペースのパターン画像[クリックで拡大] 出所:DNPDNPが2nm世代のEUVリソグラフィ向けフォトマスク製造プロセス開発を本格的に開始DNPが3nm相当のEUVリソグラフィ向けフォトマスクを開発DNPが透明導電フィルム市場に再参入、直径11nmの銀ナノワイヤを採用DNPが展開する全分野の技術を集積した共創施設をオープン、「ミニ腸」も展示DNPが高機能光学フィルムの広幅コーティング装置を増設、最大2500mm幅に対応