「多能性中間膜」のイメージ［クリックで拡大］ 出所：Gaianixx（写真：EE Times Japan）SiC低価格化の鍵になるか ヘテロエピ成長用「中間膜」技術【関連記事】左＝CEATECのブースでは、さまざまな金属で単結晶膜を形成したものを展示していた。カッコ内の数字は結晶方位を示している／右＝MgOを単結晶化した4インチウエハー。「4インチのMgO基板を展示しているだけで驚かれる」（Gaianixx）という［クリックで拡大］300mm GaNウエハー技術、Infineon本社で詳細を聞くSiCを低コスト化できるか 米装置メーカーのCMP技術三菱電機、300mmウエハーライン設置を完了ワイドバンドギャップ半導体向けの新たな接合材料酸化ガリウムウエハーの低コスト量産に向け、東北大が新会社を起業
