三井化学とベルギーのアイメック提携 半導体露光用カーボンナノチューブで
三井化学と、半導体などで知られるベルギーの研究機関imec(アイメック)は14日、極端紫外線(EUV)露光用のカーボンナノチューブ(CNT)技術の事業化に向け、戦略的パートナーシップ契約を締結したと発表した。2025～26年をメドに、高出力EUV露光向け製品の導入を目指す。 パートナーシップ契約は、CNT膜とペリクルを共同開発するもの。imecは三井化学での事業化に向けたコンサルテーションとEUV露光機での評価を担当する。
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