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FPD露光装置市場、19年は90台にとどまる

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LIMO

 2019年10~12月期のFPD(Flat Panel Display)露光装置の出荷台数は、キヤノン、ニコンの主要2社で16台となり、2期連続で20台を下回った。これにより19年通年の出荷台数は両社合計で90台となり、18年の6割の水準(18年は142台)にとどまり、2年連続で前年実績を下回った。FPDメーカーの設備投資がスローダウンしたことが影響した。 「FPD露光装置の年間出荷台数推移」の図表を見る

キヤノンとニコンが世界市場を独占

 FPD露光装置は、液晶ディスプレーや有機ELディスプレーの画素を駆動する薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor=TFT)をガラス基板上に形成するのに使用される。TFTの回路パターンが書かれている原版であるフォトマスクに光を照射し、レンズを介してパターンをガラス基板上に露光する。  ガラス基板の大きさには、製造するディスプレーのサイズによって違いがあり、その大きさを「世代(Generation=略してG)」と呼ぶ。例えば、スマートフォン用の5インチや6インチを製造する場合は第6世代(6G=サイズは1500×1850mm)のガラス基板、テレビ用の65インチなどを製造する場合は10.5世代(10.5G=サイズは2940×3370mm)のガラス基板がそれぞれ使用される。FPD露光装置は、それぞれのガラス基板の世代に応じたサイズの装置が必要になる。  また、FPD露光装置には非常に高度な光学技術が必要とされるため、現在のところキヤノンとニコンの日本メーカーが市場を独占し、他の追随を許していない。ちなみに、キヤノンはテレビ用ディスプレーを製造する大型パネル用露光装置、ニコンはスマートフォン用ディスプレー向けの中小型パネル用露光装置に強いと言われてきたが、近年はキヤノンが中小型用に新機種を投入してシェアを伸ばす一方、ニコンが10.5G用を独占的に供給するなど、両社はFPD技術の進化に応じて激しくシェアを争ってきた。

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