世界首位・堀場の半導体装置向け機器、韓国で生産倍増へ
堀場製作所は6月をめどに、韓国グループ会社の半導体製造装置向けマスフローコントローラー(MFC、ガス流量制御機器)の生産能力を現状比で約2倍に高める。日本で手がけるハイエンドモデルの現地生産を可能にし、現地の半導体製造装置メーカーの需要に応える。既存工場への設備増強で対応し、投資額は約1億円。 フォルクスワーゲンの不正見抜いた堀場の測定器 設備増強で韓国グループ会社、堀場エステック・コリアのMFC生産能力は月1000台規模になる見通し。高精度、高速応答が特徴の圧力式ハイエンドモデルは、多層化や微細化が進む半導体製造向けで引き合いが増加。生産の現地化で迅速な供給を可能にする。 新型コロナウイルス感染拡大で広がったリモートワークや、第5世代通信(5G)技術への投資などで、半導体需要は急増している。堀場製作所はMFCで世界シェア約6割の首位。