処理能力は業界最高レベル…SCREENセミコン、200mmウエハー洗浄装置で新製品
SCREENセミコンダクターソリューションズ（京都市上京区、岡本昭彦社長）は、200ミリメートルウエハーに対応する枚葉式洗浄装置の新製品を12月中に発売する。ウエハーを柔らかいブラシと純水で物理的に洗浄する「スクラバ方式」を採用。パワーデバイスの需要増加に対応し、開発した。価格は非公表。初年度に4―8台の販売を目指す。 スクラバ方式のデファクトスタンダード（事実上の標準）機種「SS―3200」の洗浄技術やチャンバー設計、搬送システムなどを200ミリメートルウエハー向けに最適化した。処理能力は最大毎時500枚で、業界最高レベルという。 200ミリメートルウエハー対応の工場や設備新設は、パワー半導体向けがけん引する。
