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左:クリーンロボット「SEMISTAR-GEKKO MD124D」、右:標準コントローラー「SR200」(クリックで拡大) 出典:安川電機

左:クリーンロボット「SEMISTAR-GEKKO MD124D」、右:標準コントローラー「SR200」(クリックで拡大) 出典:安川電機写真:MONOist

半導体ウエハーを高精度、低振動で搬送できるクリーンロボット

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